膜厚測試儀 準直器：ø0.05mm；ø0.1mm；ø0.2mm；ø0.5mm；四準直器任選一種 近測距光斑擴散度：10% 小測量面積：約0.002mm² 測量距離：具有距離補償功能，可改變測量距離，能測量凹凸異形樣品，變焦距離0-30mm 樣品觀察：1/2.5彩色CCD，全局快門，有效像素：1280*960，變焦功能 對焦方式：高敏感鏡頭（無需增加其他輔助傳感器），手動對焦
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第11年
